Argus 系列AOI是全自动2D和3D固晶&焊线光学检测设备;
具有完全自主知识产权的核心检测算法以及光学模组;
适用于检测固晶和焊线制程中出现的Die表面、固晶、焊线以及框架表面近百种缺陷。
主要应用于切割前后晶圆表面缺陷检测;
可识别晶圆表面的异物、划伤、芯片表面崩边、划偏、背面崩缺、脱落等缺陷。
拥有自主知识产权的软件算法、光学设计以及软硬件相结合的2D/3D机器视觉系统;
相对进口设备,华拓半导体在保持相同精度、速度、可靠性等指标下,价格更具竞争力;
对国内客户的需求更为理解,服务更为周到;
应用领域涵盖:IC、倒装、LED(Chip、RGB、白光、miniLED、microLED)、COB、光通讯、框架等产品检测
全自动2D和3D固晶&焊线光学检测设备;
完全自主知识产权的核心检测算法以及光学模组;
适用于检测固晶和焊线制程中出现的各类缺陷,以及对关键尺寸的量测。